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集成的光信号想要实现多种功能,都离不开基本光学元件的小型化,例如波导、分路器、光栅和光开关。这也意味着需要一种能实现高分辨率制造的方法。 目前已存在几种用于亚波长高分辨率制造的技术,例如直接激光写...
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